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电气化耗散材料

Espacer是一种不含任何有机溶剂的水溶液。是一种弱酸性溶液,适用于两种类型的抗蚀剂。

一层很薄的埃斯帕胶薄膜导电性很强,因此,它解决了电子束光刻过程中与位置误差有关的问题。

等级选择

非化学放大 化学放大
阳性
抵抗
阳性
抵抗
阴性
抵抗
阳性
抵抗
阴性
抵抗
阴性
抵抗
埃斯帕塞尔 ZEP520型 聚甲基丙烯酸甲酯 FOC-1X型 FEP-71型 萨尔601 NEB22型
300赫兹
300HX02型
300AX01型